Volgens mij is dat een machine die micro processors maakt op een silca plaat
...
Correct Vincent, jij mag de volgende doen. Ad heeft fabrikant en type gevonden.
ASML in Veldhoven, het lange witte gebouw naast de A67 en het ziekenhuis. Je hebt bijna een fiets nodig om van de eerste bij de laatste vleugel te komen. Een Philips spin-off.
Niet alleen micoprocessoren, de grootste afnemers zijn fabrikanten van geheugen IC's.
Toen ik bij ASML werkte (1998 ) was de TwinScan in ontwikkeling. Het ding mocht geen TwinScan genoemd worden om de concurrentie niet te laten weten dat er aan een dubbele machine gewerkt werd, TurboScan was de werknaam. Terwijl de ene silicium-wafer belicht werd, werd de volgende wafer alvast uitgelijnd (10 nanometers). In de waferstage bevond zich op een stuk gepolijst graniet van 2,5 ton. Daarop een luchtkussen systeem dat aangedreven werd door drie lineaire motoren in H-opstelling, met de wafer/chuck op de horizontale balk van de H. Daarmee is beweging in X en Y richting mogelijk en rotatie rond de Z-as.
Links in het logo van ASML zie je het figuurtje dat, meervoudig, gebruikt wordt voor uitlijnen, de fiducial.
Ik heb daar een snellere versie van PAS5500 gewerkt, calibratie-software voor de waferstage, veel fysica en servologie, mechanica: trillingen van slangen moesten gecompenseerd worden, evenals het niet samenvallen van zwaartepunt van motor en voet voor de wafer. In totaal 7 Motorola microprocessors uit de 68xxx serie en 5 miljoen regels C-code regels voor besturing. Die machine kregen ze niet goed, tot iemand op het lumineuze idee kwam dat de lasermetingen wel eens beïnvloedt zouden kunnen worden door de luchtwervelingen die de bewegende wafer-stage veroorzaakte. Spoilers op de stage gemonteerd en het meet-probleem was verholpen. Er zaten 6 of 8 meetlasers (infrarood) in die machine.
De lenzen worden geleverd door Zeiss, kosten 1miljoen gulden. De lenzen in de Twinstage, die dikke glimmende pijp opgebouwd uit segmenten, zijn gemaakt van CaFl₂. Niet doorzichtig voor gewoon licht, wel voor UV en deep-UV. De laser voor belichting staat er niet bij, inkoop, ter grootte van de ruimte onder een keukentafel. Die laser had veeeel hoger vermogen dan de meetlaser, vandaar dat de machines niet werken met open panelen, veel te gevaarlijk voor ogen.
Er wordt nu gewerkt aan de ontwikkeling van een magnetisch kussen annex motor op basis van Neodymium magneetblokken. Niet te dichtbij komen met sleutelbossen, pacemaker en horlogie. Ook in ontwikkeling vloeistof tussen lens en siliciumwafer voor hoger oplossend vermogen.
Schitterend high-tech bedrijf, super bedrijfsrestaurant ook
Ze weten dat ze in sterk cyclische markt zitten, op moment dat weinig verkocht wordt, wordt keihard doorontwikkeld en R&D gedaan.
Er schijnt ooit een PAS5500 bijna door de vloer van een IC fabriek gezakt te zijn, de vloer kraakte vervaarlijk voor de machine op zijn hard-point stond.
Vincent, jouw beurt.
,%20scan%20room_groot.jpg)
